ГОСТ Р 71024-2023 Пластины маскированные для фотошаблонов. Термины и определения

ГОСТ Р

Скачать ГОСТ в PDF или DOC бесплатно

📄 Скачать PDF 📝 Скачать DOC

Основная информация

Обозначение: ГОСТ Р 71024-2023

Статус: Действует

Тип: ГОСТ Р

Название русское: Пластины маскированные для фотошаблонов. Термины и определения

Название английское: Masked plates for photomasks. Terms and definitions

Даты и сроки

Дата издания: 11-07-23

Дата введения в действие: 03-01-24

Дата завершения срока действия: -

Применение и описание

Область и условия применения: Настоящий стандарт распространяется на стеклянные заготовки, маскированные и резистовые пластины для фотошаблонов, применяемые в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем в радиоэлектронной аппаратуре, и устанавливает термины и определения понятий в области маскированных пластин для фотошаблонов. Термины, установленные настоящим стандартом, предназначены для применения во всех видах документации и литературы в области маскированных и резистовых пластин для фотошаблонов и контроля их качества, входящих в сферу работ по стандартизации и (или) использующих результаты этих работ