ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
ГОСТ
Скачать ГОСТ в PDF или DOC бесплатно
Основная информация
Обозначение:
ГОСТ 25196-82
Статус:
Действует
Тип:
ГОСТ
Название русское:
Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Название английское:
Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements
Даты и сроки
Дата издания:
05-04-82
Дата введения в действие:
06-30-83
Дата завершения срока действия:
-
Применение и описание
Область и условия применения:
Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники
Связи и замены
Заменяющий:
-
Описание стандарта
ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Страницы стандарта
