ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
ГОСТ
Скачать ГОСТ в PDF или DOC бесплатно
Основная информация
Обозначение:
ГОСТ 26239.8-84
Статус:
Действует
Тип:
ГОСТ
Название русское:
Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
Название английское:
Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination
Даты и сроки
Дата издания:
01-21-85
Дата введения в действие:
01-01-86
Дата завершения срока действия:
-
Применение и описание
Область и условия применения:
Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом
Связи и замены
Заменяющий:
-
Изменения и переиздания
Список изменений:
№1 от (рег. ) «Срок действия продлен»
Описание стандарта
ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
Страницы стандарта
