ГОСТ 5.2105-73 Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

ГОСТ

Скачать ГОСТ в PDF или DOC бесплатно

📄 Скачать PDF 📝 Скачать DOC

Основная информация

Обозначение: ГОСТ 5.2105-73

Статус: Действует

Тип: ГОСТ

Название русское: Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Название английское: Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products

Даты и сроки

Дата издания: 10-04-73

Дата введения в действие: 09-01-73

Дата завершения срока действия: -

Применение и описание

Область и условия применения: Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов