ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
ГОСТ Р
Скачать ГОСТ в PDF или DOC бесплатно
Основная информация
Обозначение:
ГОСТ Р 52250-2004
Статус:
Действует
Тип:
ГОСТ Р
Название русское:
Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
Название английское:
Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications
Даты и сроки
Дата издания:
07-02-04
Дата введения в действие:
01-01-05
Дата завершения срока действия:
-
Применение и описание
Область и условия применения:
Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
Связи и замены
Заменяющий:
-
Описание стандарта
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
Страницы стандарта
