ГОСТ Р 71422-2024 Структуры эпитаксиальные и пленки диэлектрические. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев арсенида галлия на основе сферического шлифа
ГОСТ Р
Скачать ГОСТ в PDF или DOC бесплатно
Основная информация
Обозначение:
ГОСТ Р 71422-2024
Статус:
Действует
Тип:
ГОСТ Р
Название русское:
Структуры эпитаксиальные и пленки диэлектрические. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев арсенида галлия на основе сферического шлифа
Название английское:
The epitaxial structures and dielectric films. Method for measuring the thickness of gallium arsenide epitaxial layers based on a spherical section
Даты и сроки
Дата издания:
06-13-24
Дата введения в действие:
03-01-25
Дата завершения срока действия:
-
Применение и описание
Область и условия применения:
Настоящий стандарт распространяется на эпитаксиальные структуры арсенида галлия и устанавливает метод измерения толщины активного, контактного п+ и буферного п+ эпитаксиальных слоев в структурах галлия
Связи и замены
Заменяющий:
-
Описание стандарта
ГОСТ Р 71422-2024 Структуры эпитаксиальные и пленки диэлектрические. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев арсенида галлия на основе сферического шлифа
Страницы стандарта
