ГОСТ Р 71994-2025 Системы подготовки воды для электронной промышленности

ГОСТ Р

Скачать ГОСТ в PDF или DOC бесплатно

📄 Скачать PDF 📝 Скачать DOC

Основная информация

Обозначение: ГОСТ Р 71994-2025

Статус: Действует

Тип: ГОСТ Р

Название русское: Системы подготовки воды для электронной промышленности

Название английское: Systems of ultrapure water treatment for electronics industry

Даты и сроки

Дата издания: 03-31-25

Дата введения в действие: 11-01-25

Дата завершения срока действия: -

Применение и описание

Область и условия применения: Настоящий стандарт распространяется на системы получения и распределения ультрачистой (деионизованной) воды для производства изделий электронной техники. Настоящий стандарт содержит требования к ультрачистой воде. Классификация воды по качеству введена в зависимости от топологии технологического процесса производства микросхем. В настоящем стандарте установлены требования к системам получения и распределения ультрачистой воды. Требования стандарта распространяются на проектирование, монтаж, ввод в эксплуатацию, испытания, эксплуатацию и техническое обслуживание систем подготовки ультрачистой воды