ГОСТ Р 72477-2025 Оборудование специальное технологическое, применяемое в микроэлектронном производстве. Общие технические условия
Межгосударственный стандарт
Основная информация
Обозначение:
ГОСТ Р 72477-2025
Статус:
Принят
Название русское:
Оборудование специальное технологическое, применяемое в микроэлектронном производстве. Общие технические условия
Название английское:
Processing microelectronic equipment. General technical conditions
Даты и сроки
Дата введения в действие:
07-01-26
Описание стандарта
ГОСТ Р 72477-2025 Оборудование специальное технологическое, применяемое в микроэлектронном производстве. Общие технические условия
