ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне

Межгосударственный стандарт

Скачать ГОСТ в PDF или DOC бесплатно

Основная информация

Обозначение: ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020
Статус: Действует
Название русское: Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне
Название английское: Cleanrooms and associated controlled environments. Part 12. Specifications for monitoring air cleanliness b nanoscale particle concentration

Даты и сроки

Дата введения в действие: 12-01-20
Дата завершения срока действия: -

Связи и замены

Заменяющий: -

Описание стандарта

ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне