ионно-плазменное напыление объединяет две технологии: термообработку и нанесение покрытия
Ионно-плазменное напыление позволяет нанести на металл ультратонкое, но очень прочное покрытие. Это не просто защитный слой, а настоящий барьер, который повышает износостойкость, коррозионную стойкость, теплопроводность и другие важные свойства материалов.
Процесс основан на взаимодействии ионов с поверхностью материала. Он начинается с создания плазмы - частично ионизированного газа, состоящего из электронов, ионов и нейтральных атомов. Плазма возникает, когда электрический ток пропускается через газ: например, аргон или кислород.
В вакуумном ионно-плазменном напылении используется катодное распыление. Катод, изготовленный из материала, который должен быть нанесен на поверхность, становится своего рода мишенью. Под воздействием электрического поля ионы плазмы бомбардируют эту цель, выбивая из нее атомы материала.
Отделенные частицы движутся к поверхности подложки, на которую нужно нанести покрытие, и сталкиваются с ней, передавая ей импульс и энергию. Часть ионов отражается от поверхности, а часть проникает в нее, вызывая каскад атомных столкновений. Атомы материала, выбитые из катода, осаждаются на поверхности подложки, образуя тонкий и прочный слой.
Важным фактором становится энергия ионов: она определяет степень их проникновения, а также скорость и качество осаждения атомов материала.