ГОСТ Р 8.592-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Межгосударственный стандарт
Основная информация
Обозначение:
ГОСТ Р 8.592-2009
Статус:
Принят
Название русское:
Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Название английское:
State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measure. Geometrical shapes, linear size and manufacturing material requirements
Даты и сроки
Дата введения в действие:
11-01-10
Описание стандарта
ГОСТ Р 8.592-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
